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    免费下载 下载该文档 文档格式：PDF   更新时间：2010-03-01   下载次数：0   点击次数：2

    2010年3月15日...(3)碳化硅电子:可以在极端环境中工作 由于能够承受极端温度条件,碳化硅电子...传统的微机电系统(MEMS)的制造使用的是与计算机芯片类似的工艺——光 刻...

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